依據加工方式的原理和特性，超精密加工方式除去加工，融合加工和形變加工三大類。
1、除去加工。又稱之為分離出來加工，是以產品上除去一部分原材料，是傳統式的機械設備加工方式，如銑削，切削，磨削，碾磨和打磨拋光等，及其特殊加工中的火花放電加工和電解法加工等，均屬這類加工方式。
2、融合加工。運用機械和有機化學方式，將不一樣的原材料結合在一起。按融合的是原理，方式，高低等，它分成粘附，引入和聯接三種。
3、形變加工。又稱之為流動性加工，運用力，熱，分子熱運動等方式，是產品工件造成形變，更改其規格，樣子和特性。
超精加工全過程可分成4個環節：
①逐漸時磨刀石磨去不光滑凸峰的明顯鉆削環節；
②產品工件不光滑層被磨除后的正常的鉆削環節；
③磨砂顆粒變鈍，其功效是由鉆削銜接到磨擦打磨拋光的薄弱鉆削環節；
④磨刀石和產品工件已很光潔，觸碰總面積大大增加，因此氣體壓強降低，磨砂顆粒已不可以穿破浮油與產品觸碰，因此進到終止鉆削環節。
超精密加工便是在超精密機械設備上，運用零件與銑刀中間形成的具備嚴謹的管束的相對速度，對資料開展少量鉆削，以得到極高樣子精密度和表層光滑度的加工全過程。其精密度從μm到亞微米，乃至納米技術，其使用范疇日趨普遍，在高新技術行業和軍工用工業生產及其國營經濟里都有廣泛運用，尤其是機電一體化行業，如集成電路工藝電子器件，高精密硬盤，精密雷達探測，巡航導彈火控系統，精密CNC精密零件，精密儀器設備，攝錄機磁帶機，打印機磁鼓，燃氣灶轉閥等都需要選用超精密加工技術性。它與當今一些關鍵科技進步的發展趨勢有緊密的聯絡，是當今科學發展觀的一個關鍵步驟；并且超精密加工技術性的快速發展也增進了機械設備，液壓機，電子器件，半導體材料，電子光學，感應器和檢測技術性及其管理科學的發展趨勢。

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